УДК 537

ВИМІРЮВАННЯ ЕЛЕКТРИЧНОГО ОПОРУ МІКРОРОЗМІРНИХ ОБ’ЄКТІВ

© Кривенчук Юрій, Микитин Ігор, Сегеда Олег, 2012
Національний університет “Львівська політехніка”, кафедра інформаційно-вимірювальних технологій,
вул. С. Бандери, 12, Львів, Україна
рroffesional@meta.ua, mykytynip@ukr.net, sehedao@yahoo.com

Здійснено аналітичний огляд методів вимірювання електричного опору. На основі проведеного аналізу зроблено висновок про доцільність застосування методу безконтактного вимірювання електричного опору мікрооб’єктів.

Проведен аналитический обзор методов измерения электрического сопротивления. На основе проведенного анализа сделан вывод о целесообразности применения метода бесконтактного измерения электрического сопротивления микрообъектов.

In the article the review of the methods of measurement of electrical resistance. Based on the analysis concluded the feasibility of applying the method of contactless measurement of electrical resistance of micro

Література – 7.