Розглянуто проблематику вимірювань у нанометровому діапазоні. Описано сучасні методи та засоби, що використовуються в нанометрії: інтерферометрично-оптичні засоби, різноманітні види мікроскопії, зокрема сканувальну тунельну, атомно-силову та оптичну мікроскопію ближнього поля тощо. Особливу увагу звернено на оптичні сенсори сканувальної мікроскопії і кантилевери. Розглянуто питання метрологічного забезпечення засобів вимірювань нанометрового діапазону.
Призначений для студентів і аспірантів, які цікавляться нанотехнологіями, а також може бути корисний інженерно-технічним працівникам, що займаються вимірюваннями геометричних розмірів нанометрового діапазону.

Зміст

Вступ